半導體特氣檢測探頭PS-6AH/PS-6NH
PS-6AH/PS-6NH半導體特氣檢測探頭是一款專為高純度氣體環境設計的氣體監測設備,主要應用于半導體制造、精密電子元件生產、光伏材料加工等領域中危險氣體的實時檢測與安全防護。該產品通過優化傳感技術實現對多種特殊氣體的精準識別,包括硅烷、磷化氫、砷化氫等易燃、有毒或腐蝕性氣體,為工業現場提供可靠的安全預警支持。
在技術設計上,探頭采用模塊化結構,核心傳感器單元通過多層防護技術有效隔離環境干擾,確保在高溫、高濕或存在電磁干擾的復雜工況下仍能保持穩定檢測性能。設備內置智能補償算法,可自動修正環境溫濕度變化對檢測結果的影響,顯著提升數據可靠性。響應時間控制在3秒以內,滿足半導體行業對氣體泄漏快速響應的嚴苛要求。
產品兼容主流工業通訊協議,支持4-20mA模擬信號與數字信號同步輸出,便于集成至廠區中央控制系統。殼體采用耐腐蝕合金材質,防護等級達到IP65,適用于無塵車間、氣體存儲區、管道閥門組等關鍵監測節點。其緊湊型設計便于嵌入式安裝,維護時可通過前端快速插拔結構實現模塊更換,大幅降低設備停機時間。
PS-6AH與PS-6NH系列根據檢測場景差異進行針對性優化:PS-6AH側重于常規濃度范圍的連續監測,而PS-6NH強化了對痕量氣體的捕捉能力,最小檢測量程可達ppm級,滿足超凈環境的高靈敏度需求。通過配置不同的預處理單元,設備可適配正壓、負壓等多種氣體輸送系統的檢測要求。產品出廠前均經過多階段穩定性測試,確保在半導體行業連續生產場景中的長效運行表現。我們為使用者提供專業的技術支持,幫助客戶根據具體工藝需求優化監測方案。
半導體特氣檢測探頭PS-6AH/PS-6NH
的詳細介紹
半導體特氣檢測探頭PS-6AH/PS-6NH
半導體特氣檢測探頭PS-6AH/PS-6NH
半導體特氣檢測探頭PS-6AH/PS-6NH特點:
¬ 由于是4~20mA的標準輸出,因此可接入各種測量裝置和系統。
¬ 由于現場有濃度顯示功能,因此可在設置現場確認濃度。
¬ 可以設定報警水平,故障報警,零抑制或線性表格等。
¬ 檢測部有各種接點輸出信號
規格:
型 號 |
PS-6AH |
PS-6NH |
檢 測 原 理 |
定電位電解式、熱線型半導體式、隔膜Galvanic電池式
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熱分解、定電位電解式NF3,CC14用
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采 樣 方 式 |
泵吸引式 |
采 樣 管 道 |
特富龍外徑6/內徑4mm,配管距離20m以內,但吸附性強的氣體最大配管距離為5m. |
氣體濃度顯示 |
0~9999LED顯示 |
輸 出 信 號 |
4~20mA(與電源的負端共用) |
報 警 輸 出 |
第一段第二段都是開路集電極OFF |
流量低下信號 |
開路集電極OFF |
使 用 電 纜 |
KVV-P 3芯或4芯 |
使 用 溫 度 |
0~40 oC |
電 源 |
DC24V±10% |
消 耗 電 力 |
約10W |
約15W |
重 量 |
約2.7kg |
尺 寸 |
W37×H198×D145(mm)(突起部分除外) |
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