供應(yīng)單晶硅專用制氮機
產(chǎn)品概述
單晶硅專用制氮機是專為單晶硅生產(chǎn)工藝設(shè)計的高效氣體分離設(shè)備，采用先進的變壓吸附（PSA）技術(shù)，直接從壓縮空氣中分離出高純度氮氣。該設(shè)備通過碳分子篩的選擇性吸附特性，在常溫條件下實現(xiàn)氧氮分離，能夠滿足單晶硅生產(chǎn)過程中對氮氣的穩(wěn)定性和純度要求。設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊，操作簡便，可適應(yīng)化工、電子、光伏等領(lǐng)域的用氣需求。
技術(shù)特點
設(shè)備采用高品質(zhì)碳分子篩作為吸附劑，具有吸附容量大、抗壓性能高的特點，在正常工作條件下使用壽命較長。通過不等勢均壓流程設(shè)計，顯著提高氮氣回收率，相比傳統(tǒng)工藝可降低能耗約30%。設(shè)備采用模塊化撬裝設(shè)計，占地面積小，無需額外基建投資，安裝便捷。智能化控制系統(tǒng)可實現(xiàn)全自動運行，實時監(jiān)測氮氣純度、流量和壓力，并支持遠(yuǎn)程監(jiān)控功能，確保生產(chǎn)過程的連續(xù)性和穩(wěn)定性。
應(yīng)用優(yōu)勢
該制氮機特別適用于單晶硅生產(chǎn)中的保護氣氛需求，能有效防止高溫工藝中的氧化反應(yīng)。設(shè)備產(chǎn)出的氮氣純度可根據(jù)實際需求在95%-99.99%范圍內(nèi)靈活調(diào)節(jié)，露點可達-40℃以下。相比外購液氮或瓶裝氮氣，現(xiàn)場制氮方式更加經(jīng)濟高效，可顯著降低用氣成本。設(shè)備運行噪音低，維護簡單，關(guān)鍵部件采用耐用設(shè)計，保障長期穩(wěn)定運行。
工藝原理
設(shè)備基于變壓吸附原理工作，壓縮空氣經(jīng)過多級凈化后進入裝有碳分子篩的吸附塔，氧氣被優(yōu)先吸附，氮氣則在氣相中富集產(chǎn)出。系統(tǒng)配置雙吸附塔交替工作，一塔吸附產(chǎn)氮時另一塔脫附再生，通過PLC程序控制實現(xiàn)連續(xù)供氣。獨特的分子篩裝填工藝和氣流分布設(shè)計，有效減輕氣流沖擊，防止分子篩粉化，確保分離效率和使用壽命。
服務(wù)保障
我們可根據(jù)用戶實際用氣需求提供個性化方案，包括氣量配置、純度要求和壓力參數(shù)等。設(shè)備交付包含安裝指導(dǎo)和操作培訓(xùn)，并提供持續(xù)的技術(shù)支持服務(wù)。針對單晶硅生產(chǎn)的特殊工況，設(shè)備可定制防腐蝕、防爆等適應(yīng)性設(shè)計，確保在復(fù)雜環(huán)境下的可靠運行。
供應(yīng)單晶硅專用制氮機
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