日本COSMOS半導體材料氣體檢測儀XPS-7日本新宇宙
產品概述
日本COSMOS新宇宙XPS-7半導體材料氣體檢測儀是一款專為半導體制造及石油化工行業設計的便攜式氣體檢測設備。該產品采用模塊化設計，通過更換傳感器單元即可實現多種氣體的快速檢測，適用于半導體工廠、石油化學工廠等使用有毒氣體或半導體材料氣體的場所進行泄漏檢測和濃度測量。其輕量化設計（約1.3kg）和肩背式攜帶方式便于現場操作人員靈活使用。
核心功能特點
XPS-7采用定電位電解式檢測原理，具備自動吸引式采樣功能，可針對不同氣體類型靈活更換傳感器單元，無需進行復雜的氣體檢測器校正操作。設備配備蜂鳴器與報警燈雙重警示系統，當氣體濃度異常時會通過斷續音和燈光閃爍提示用戶。其響應時間在60秒內可達到60%的檢測響應，連續工作時間超過12小時（使用堿性電池條件下）。該產品支持檢測的氣體包括氨氣、硅烷、砷化氫、硒化氫等半導體工藝中常見的氣體類型。
技術參數與使用便利性
設備外形尺寸為62mm×150mm×128mm（不含突出部分），工作溫度范圍覆蓋0℃至40℃環境。標配包含肩背皮帶、4節5號堿性電池及過濾紙等配件，用戶可根據需要選配AC變壓器或數據收集配套元件。采用盒式傳感器單元設計，大幅減少了維護時間和操作復雜度，傳感器更換過程無需專業工具即可完成。彩色顯示屏清晰顯示氣體濃度變化趨勢，支持數字與圖形雙模式切換。
應用場景說明
該檢測儀主要應用于半導體制造過程中特殊氣體的泄漏檢查，包括晶圓加工、刻蝕工藝等環節的氣體監測。同時也適用于石油化工行業中硫化氫、一氧化碳等有毒氣體的現場檢測。其便攜特性特別適合工廠巡檢、設備維護時的臨時監測需求。通過簡單的傳感器單元更換，單臺設備即可滿足多場景下的不同氣體檢測需求，有效提升設備利用率。
日本COSMOS半導體材料氣體檢測儀XPS-7日本新宇宙
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