PS-6/PS-6N半導體特氣檢測探頭
產品概述：
PS-6/PS-6N系列是針對半導體制造工藝中特種氣體檢測需求開發的高精度傳感設備，適用于無塵車間、氣體輸送管路及工藝腔室等場景。該產品通過模塊化設計實現對多種高風險氣體的穩定監測，為半導體生產環境的安全性及工藝穩定性提供有效保障。
核心特點：
• 靈敏監測：采用寬量程傳感技術，可覆蓋ppb至ppm級濃度檢測，滿足半導體行業對痕量氣體泄漏的監測需求。
• 快速響應：優化氣路結構與信號處理算法，實現毫秒級異常響應速度，配合智能濾波功能減少環境干擾誤報。
• 環境適應：主體結構采用316L不銹鋼與全密封設計，在-20℃至+60℃溫度范圍及95%RH濕度條件下保持穩定運行。
• 維護便捷：模塊化傳感器支持帶電插拔更換，配備自診斷功能實時反饋設備狀態，顯著降低運維成本。
應用領域：
廣泛應用于半導體芯片制造中的CVD、蝕刻、離子注入等工藝環節，兼容氫氣、硅烷、磷化氫、氟化氫等20余種高危氣體的檢測需求。同時可適配光伏電池片生產、LED外延片制備等精密電子制造場景。
系統兼容：
PS-6N型號內置標準數字通信接口，支持RS-485/MODBUS協議，可無縫接入工廠DCS/SCADA系統。雙型號均提供4-20mA模擬量輸出，兼容主流氣體報警控制器。
產品價值：
通過精準的實時監測與數據追溯功能，幫助用戶優化氣體管理體系，降低生產中斷風險，為半導體制造過程的品質控制與人員安全防護提供可靠的技術支持。
