DHCW-1型 循環冷卻水機組對比【上海雙旭】
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多功能微波等離子體實驗裝置由微波源、真空系統、供氣系統、冷卻系統、微波傳輸及微波諧振腔組成；由微波源產生頻率為2.45GHz的微波，沿矩形波導管傳輸，在水冷諧振腔反應室內激勵氣體形成軸對稱的等離子體球。可完成以下實驗：微波等離子體化學氣相沉積法制備多種功能薄膜材料、微波等離子體刻蝕加工實驗、材料表面改性和清洗等；適合大學物理、材料、化學等領域的學生實驗及教師科學研究。
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