DH-DPL系列 多普勒效應及聲速綜合實驗儀參數【上海雙旭】
D-Y69A
直流濺射等離子體實驗裝置采用同軸二極濺射結構，靶臺和靶距離可調節，濺射基片可進行控溫加熱；濺射氣壓、濺射氣源流量可調節，可研究不同氣壓、氣源流量對薄膜濺射的影響；反應腔體采用石英玻璃管，可直觀地觀察到濺射現象；工作氣體可調節更換，并可多路氣體混合工作。可以完成光學薄膜材料的制備及其光學特性的測量、金屬薄膜的制備等實驗。
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