在線詢價數字式0.5%精密微小氣體質量流量計控制器 氫氣氮氣流量控
產品概述
數字式0.5%精密微小氣體質量流量計控制器是一款采用熱式測量原理的高精度流量控制設備，適用于氫氣、氮氣等多種氣體的精確測量與控制。該產品通過毛細管傳熱溫差量熱法實現流量檢測，不受溫度壓力波動影響，能夠穩定輸出與設定值一致的流量數據。設備采用本地高清晰液晶顯示屏，可實時顯示瞬時流量、累積流量等參數，操作界面直觀便捷。
技術特點
該控制器具有0.5%的高測量精度和優異的重復性，響應時間短至1秒內，能夠滿足快速流量調節需求。產品采用不銹鋼殼體材質，支持4-20mA、0-5V模擬信號輸出及RS485數字通訊接口，便于系統集成。工作壓力范圍寬達0.05-0.3MPa，耐壓最高可達3MPa，適用于不同工況環境。特殊設計的層流結構確保在微小流量范圍內（最低可達5SCCM）仍保持穩定測量性能。
應用場景
該設備廣泛應用于半導體制造、光伏新能源、醫療設備、實驗室研究等領域，特別適合需要精確控制氫氣、氮氣等氣體流量的工藝環節。在熱處理保護氣控制、化學氣相沉積、氣體配比混合等場景中表現出色，能夠有效提升工藝穩定性和產品一致性。產品采用模塊化設計，支持卡套連接方式，安裝維護簡便。
產品優勢
相比傳統流量控制設備，該產品具有更寬的量程比（可達100:1）和更好的線性度（±0.5%F.S），在長時間工作中保持穩定的控制性能。智能化的溫度補償算法確保在不同環境溫度下都能提供準確的測量數據。產品提供多種量程規格可選，從0-5SCCM到0-100SLM滿足不同流量控制需求，用戶可根據實際應用選擇合適型號。
在線詢價數字式0.5%精密微小氣體質量流量計控制器 氫氣氮氣流量控
上海雙旭電子有限公司
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