代理美國MKS流量計649A51T51CADR
產品概述
代理的美國MKS流量計649A51T51CADR是一款專為工業氣體流量測量設計的精密儀器，采用先進的熱式質量流量測量技術，適用于半導體制造、鍍膜玻璃、生物工程等多個領域的氣體流量監控需求。該產品能夠精準測量5sccm至50slm滿量程范圍內的氮氣等效流量，具備快速響應和高度可重復性的特點，滿足高純度氣體應用場景的嚴苛要求。218
技術特點
該流量計采用全金屬密封結構設計，316L不銹鋼材質表面處理達到16微英寸光潔度，確保高純度氣體傳輸過程中的穩定性。內置數字信號處理技術，支持多氣體/多量程功能，用戶可通過標準以太網接口和瀏覽器直接配置氣體類型及量程范圍，無需專用軟件。嵌入式診斷界面提供實時設備運行狀態監測、流量曲線繪制及數據存儲功能，便于維護和性能分析。溫度補償技術可將零漂和量程漂移控制在較低水平，適應復雜工況環境。1218
應用場景
該型號廣泛應用于半導體生產設備的工藝氣體控制、光伏玻璃鍍膜線的氣體配比系統、制藥行業的無菌氣體輸送等場景。特別適用于氧氣、氫氣、氮氣、氯化氫、氨氣等多種氣體介質的精確計量，其緊湊的3英寸安裝尺寸可直接替換同類產品，兼容現有氣體管路系統。在半導體制造中，該設備能有效支持晶圓蝕刻、沉積等關鍵工藝環節的氣體流量控制需求。619
產品優勢
通過優化傳感器設計和機械結構，該流量計在長期使用中表現出良好的穩定性。模塊化設計簡化了安裝和維護流程，標準"D"型電氣連接器與行業通用接口兼容，可適配多數質量流量控制器電源系統。用戶可通過多語言操作界面快速掌握設備使用方法，診斷功能支持離線數據分析，有助于提升生產系統的綜合效率。1020
代理美國MKS流量計649A51T51CADR
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